熒光法溶氧儀有一層熒光物質，LED光源發出的藍光照射到熒光物質上，熒光物質被激發，並發出紅光。一個光電池檢測熒光物質從發射紅光到回到基態所需要的時間。這個時間隻和藍光的發射時間以及氧氣的多少有關，探頭另有一個LED光源，在藍光發射的同時發射紅光，作為藍光發射時間的參考。傳感器周圍的氧氣越多，熒光物質發射紅光的時間就越短。

光路係統：調製光源、光路傳導係統。

熒光敏感膜：熒光分子、熒光分子載體。

探頭：光路係統、熒光敏感膜和光學檢測係統。

光學檢測係統：濾光，光電流檢測、放大及運算。

熒光法溶解氧儀，采用創新的熒光法替代傳統的膜式電極，不用更換膜片和電解液，減少了維護工作量，提高了工作可靠性，特別適用於汙水處理領域惡劣的工況。此外，熒光法傳感器不消耗氧氣，所以沒有流速和攪動的要求，也不受硫化物等物質的幹擾。